示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)概述

隨著能量效率的提高，以及排氣通風(fēng)設(shè)施的物理限制變得更加明顯，半導(dǎo)體設(shè)備的排氣通風(fēng)的優(yōu)化變得越來越重要。設(shè)備的排氣通風(fēng)設(shè)計(jì)不合理，可能會(huì)造成操作人員的傷亡，引起設(shè)備乃至整個(gè)工廠的燒毀。

半導(dǎo)體行業(yè)需要測(cè)量機(jī)臺(tái)通風(fēng)效率，滿足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測(cè)定逸散性排放的試驗(yàn)方法，考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導(dǎo)體裝備通風(fēng)效率。

SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體，因此，對(duì)SF6檢測(cè)儀的檢測(cè)精度要求較高。

示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

檢測(cè)方案

高靈敏度的光聲光譜氣體檢測(cè)系統(tǒng)，是一套用于在線實(shí)時(shí)測(cè)量示蹤氣體濃度變化，從而評(píng)估通風(fēng)效率的準(zhǔn)確、可靠、高效的解決方案。

光聲光譜氣體分析儀可以同時(shí)檢測(cè)最多9種氣體和水汽，檢測(cè)氣體種類是從一個(gè)超過300種的氣體數(shù)據(jù)庫(kù)中由用戶選擇。除了SF6等示蹤氣體之外，還可以同時(shí)檢測(cè)室內(nèi)其它的氣體濃度，比如CO₂、甲醛、苯系物等VOC，為評(píng)價(jià)半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)通風(fēng)效率提供更多的數(shù)據(jù)支持。

整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)由光聲光譜氣體檢測(cè)儀、多點(diǎn)采樣器、專用軟件組成；在用戶要求的情況下，還可以集成釋放裝置MFC，管路等一體化解決方案。

示蹤氣體法半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)特性

• 光聲光譜法原理，懸臂梁探測(cè)技術(shù)

• 可同時(shí)測(cè)量SF6等多種示蹤氣體及VOC

• 檢測(cè)限低，測(cè)量精度高(ppb)

• 測(cè)量響應(yīng)快

• 多點(diǎn)采樣器，可擴(kuò)展12-64個(gè)采樣點(diǎn)

• 無需預(yù)處理、無耗材、無載氣

• 可定制釋放裝置和管路

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造設(shè)備通風(fēng)性能檢測(cè)（國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)SEMI S6標(biāo)準(zhǔn)）

• SF6泄露檢測(cè)